向真空腔室内的多功能管线导入机构、成膜装置和系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201911116001.1
IPC分类号：C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12
申请日期：
2019-11-15
申请人：
佳能特机株式会社

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著录项信息

专利名称	向真空腔室内的多功能管线导入机构、成膜装置和系统
申请号	CN201911116001.1	申请日期	2019-11-15
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2020-09-15	公开/公告号	CN111663099A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/04 局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;4;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;1;2查看分类表>
申请人	佳能特机株式会社	申请人地址	日本新泻县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能特机株式会社	当前权利人	佳能特机株式会社
发明人	若林洋介;上续乐
代理机构	中国贸促会专利商标事务所有限公司	代理人	刘杨

摘要

本发明提供向真空腔室内的多功能管线导入机构、成膜装置和系统，即使腔室变形、支承机构变形、臂姿势变化，也能维持臂连结部的真空密封性能。管线导入机构具备：蒸镀源，能在内部能减压的真空腔室内部移动；第1转动部，能使第1臂部绕第1轴转动地与真空腔室内壁连接；第2转动部，能使第2臂部绕第2轴转动地与第1臂部连接；第3转动部，能使第2臂部绕第3轴转动地与蒸镀源连接，使蒸镀源动作的多功能管线经将第1转动部～第3转动部内部连通并与真空腔室外相连的气密构造的导入路导入并与蒸镀源连接，第1转动部能绕与第1轴交叉的轴摆动地将第1臂部连接于真空腔室的内壁，第3转动部能绕与第3轴交叉的轴摆动地将第2臂部连接于蒸镀源。

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