一种宽波段的远心照明成像系统和晶圆检测设备

发明专利有效专利

申请号：
CN202211197218.1
IPC分类号：F21S8/00;F21V14/06;F21V5/00;G01N21/88
申请日期：
2022-09-29
申请人：
苏州天准科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种宽波段的远心照明成像系统和晶圆检测设备
申请号	CN202211197218.1	申请日期	2022-09-29
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-11-04	公开/公告号	CN115289419A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F21S8/00 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F21 照明 F21S 非便携式照明装置或其系统；专门适用于车辆外部的车辆照明设备〔1，7〕 F21S8/00 准备固定安装的的照明装置（F21S 9/00，F21S 10/00优先；使用光源串或带的入F21S 4/00）〔7〕	IPC分类号	F;2;1;S;8;/;0;0;;;F;2;1;V;1;4;/;0;6;;;F;2;1;V;5;/;0;0;;;G;0;1;N;2;1;/;8;8查看分类表>
申请人	苏州天准科技股份有限公司	申请人地址	江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州天准科技股份有限公司	当前权利人	苏州天准科技股份有限公司
发明人	骆聪;朱怡;曹葵康
代理机构	北京千壹知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	王玉玲

摘要

本发明涉及半导体照明技术领域，提供的一种宽波段的远心照明成像系统和晶圆检测设备；远心照明成像系统包括光源模块、准直模块、滤光模块、匀光模块、光瞳调节模块和照明成像模块；该系统具有更多的可选波段，使用变焦设计，保证不同波段下照明光都有较高的能量利用率与较强的能量，系统采用消色差设计，保证了不同波段下照明效果的稳定性；使用了高亮宽波段光源，相较传统氙灯光源，寿命提升；本发明还能实现多种照明视场可调、多种照明模式可调、多种照明强度可调、照明远心等功能；可以在半导体、芯片等需要高精测量的领域推广应用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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