半导体集成电路生产中晶圆制造调度方法及调度系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201310365494.9
IPC分类号：G05B19/418;H01L21/67
申请日期：
2013-08-20
申请人：
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

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专利名称	半导体集成电路生产中晶圆制造调度方法及调度系统
申请号	CN201310365494.9	申请日期	2013-08-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-03-18	公开/公告号	CN104423331A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05B19/418 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05B 一般的控制或调节系统；这种系统的功能单元；用于这种系统或单元的监视或测试装置（应用流体作用的一般流体压力执行器或系统入F15B；阀门本身入F16K；仅按机械特征区分的入G05G；传感元件见相应小类，例如G12B，G01、H01的小类；校正单元见相应的小类，例如H02K） G05B19/00 程序控制系统（特殊应用见有关位置，例如A47L 15/46；附带或内装有在预定时间间隔操作任一器件的装置的时钟入G04C 23/00；记录或读取数字信息的记录载体入G06K；信息存储器入G11；在程序执行完了后自动终止其运行的时间或时间程序开关入H01H 43/00） G05B19/02 电的 G05B19/418 全面工厂控制，即集中控制许多机器，例如直接或分布数字控制（DNC）、柔性制造系统（FMS）、集成制造系统（IMS）、计算机集成制造（CIM）〔6〕	IPC分类号	G;0;5;B;1;9;/;4;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
发明人	王冕
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	屈蘅;李时云

摘要

本发明提出一种半导体集成电路生产中晶圆制造调度方法及调度系统，所述半导体集成电路生产中调度系统包括应用计算机软、硬件连接的产品信息单元、时刻表单元、产品监控单元、优先级计算单元、优先级标准单元、显示单元；所述调度方法按交货紧急程度计算出各个产品和批次优先级，更加清楚、简单地体现出不同产品和批次的紧急程度，根据优先级从高到低对生产线上有限的产能资源进行调度，达到对生产目标和生产效率的有效控制，提升生产效率和按时交货的成功率。

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