玻璃基板的制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201410642262.8
IPC分类号：B24B37/00
申请日期：
2014-11-11
申请人：
旭硝子株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	玻璃基板的制造方法
申请号	CN201410642262.8	申请日期	2014-11-11
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2015-05-20	公开/公告号	CN104625939A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先）	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;0;0查看分类表>
申请人	旭硝子株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	旭硝子株式会社	当前权利人	旭硝子株式会社
发明人	宫谷克明;萧桂瑛
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	杨海荣;穆德骏

摘要

本发明涉及一种玻璃基板的制造方法，所述玻璃基板的制造方法包括：研磨工序，所述研磨工序使用研磨垫和研磨液对保持在研磨用载具的保持孔中的玻璃基板的主平面进行研磨，所述研磨垫具有肖氏D硬度为40以下的发泡树脂的研磨层，所述研磨液含有初级粒径为3～50nm的二氧化硅作为磨粒；和清洗工序，所述清洗工序对玻璃基板的表面进行清洗，所述玻璃基板的制造方法的特征在于，所述研磨工序中，使用将1μl研磨液滴加至研磨垫的研磨面起50秒后研磨液的接触角为50°以下的研磨垫和研磨液对玻璃基板的主平面进行研磨。

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