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一种晶体片厚度测量装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201520110089.7
  • IPC分类号:G01B5/06
  • 申请日期:
    2015-02-15
  • 申请人:
    德清晶生光电科技有限公司
著录项信息
专利名称一种晶体片厚度测量装置
申请号CN201520110089.7申请日期2015-02-15
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B5/06IPC分类号G;0;1;B;5;/;0;6查看分类表>
申请人德清晶生光电科技有限公司申请人地址
浙江省湖州市德清县乾元镇医东路6号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人德清晶生光电科技有限公司当前权利人德清晶生光电科技有限公司
发明人章仁上
代理机构北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司代理人董芙蓉
摘要
本实用新型涉及一种晶体片厚度测量装置,其结构包括“工”字型支架、百分表和校准板,所述的“工”字型支架是由上支架和下支架通过长度调节装置连接组成,所述的上支架与下支架平行,所述的百分表通过连接座安装在上支架的一端,所述的上支架另一端垂直安装在研磨机中工作盘上端的轴心处,所述的校准板通过滑动机构活动连接在下支架的底部,所述的上支架的顶部还设有水平仪。本设计能够通过百分表来测量研磨机的研磨厚度,从而精确把控晶体片的厚度,提高晶体片的合格率。

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