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一种基于非晶碳的低电流热稳定互补型忆阻器及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202210823850.6
  • IPC分类号:H01L45/00
  • 申请日期:
    2022-07-14
  • 申请人:
    东北师范大学
著录项信息
专利名称一种基于非晶碳的低电流热稳定互补型忆阻器及其制备方法
申请号CN202210823850.6申请日期2022-07-14
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2022-10-18公开/公告号CN115207214A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L45/00IPC分类号H;0;1;L;4;5;/;0;0查看分类表>
申请人东北师范大学申请人地址
吉林省长春市南关区人民大街5268号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东北师范大学当前权利人东北师范大学
发明人赵晓宁;田巧玲;王中强;徐海阳;刘益春
代理机构辽宁鸿文知识产权代理有限公司代理人王海波
摘要
本发明公开了一种基于非晶碳的低电流热稳定互补型忆阻器及其制备方法,属于微电子材料器件领域,其结构由下至上依次包括基片、底电极层、含有限活性金属非晶碳层、有限活性金属、纯非晶碳介质层、顶电极层;所述含有限活性金属非晶碳层提供有限数量的活性金属,通过电化学氧化还原反应,活性金属的耗尽可以在单个器件中产生互补电阻开关行为并且具有高温稳定性。除此之外,通过限制含有限活性金属非晶碳层中活性金属的掺杂浓度,可获得低开启电流,有利于降低器件运行电流和高温下稳定工作,有利于解决高密度集成阵列的串扰电流问题,利于商业化推广实用。

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