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工艺废气处理装置及工艺废气处理方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010198762.9
  • IPC分类号:B01D53/34
  • 申请日期:
    2010-06-07
  • 申请人:
    旺宏电子股份有限公司
著录项信息
专利名称工艺废气处理装置及工艺废气处理方法
申请号CN201010198762.9申请日期2010-06-07
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2011-12-07公开/公告号CN102266710A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01D53/34IPC分类号B;0;1;D;5;3;/;3;4查看分类表>
申请人旺宏电子股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹科学工业园区力行路16号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人旺宏电子股份有限公司当前权利人旺宏电子股份有限公司
发明人谢正益
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人宋焰琴
摘要
一种工艺废气处理装置包括腔体与漏斗顶盖环。漏斗设置于腔体下方,具有至少一注入孔,设置于接近腔体之处。

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