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利用激光制造结晶膜的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200710142345.0
  • IPC分类号:H01L21/20;H01L21/268
  • 申请日期:
    2003-10-14
  • 申请人:
    住友重机械工业株式会社
著录项信息
专利名称利用激光制造结晶膜的方法
申请号CN200710142345.0申请日期2003-10-14
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2008-03-19公开/公告号CN101145518
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/20IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;2;0;;;H;0;1;L;2;1;/;2;6;8查看分类表>
申请人住友重机械工业株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人住友重机械工业株式会社当前权利人住友重机械工业株式会社
发明人工藤利雄;清家幸治;山崎和则
代理机构永新专利商标代理有限公司代理人王永建
摘要
本发明涉及利用激光制造结晶膜的方法。根据本发明,首先提供一个表面上具有由非晶态材料制成的薄膜的工件。接着,向该薄膜施加脉冲激光束,该脉冲激光束在沿该薄膜的表面上沿一个方向具有细长形光束截面,通过该脉冲激光束,该薄膜被熔融,之后使该薄膜凝固。在第一带状区域内连续形成沿光束截面的长轴方向排成链的晶粒,该第一带状区域沿光束入射区域的长轴方向延伸,并处在光束入射区域中位于其中心线与沿长轴方向延伸的光束入射区域的边界之间的区域中,且与所述边界和中心线隔开一定距离。通过上述方式,本发明可以很方便地获得大晶粒。

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