调节装置、反应腔室及半导体加工设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201410099577.2
IPC分类号：C30B29/06;C30B25/16;C30B25/10
申请日期：
2014-03-18
申请人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

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专利名称	调节装置、反应腔室及半导体加工设备
申请号	CN201410099577.2	申请日期	2014-03-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-09-23	公开/公告号	CN104928754A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/02 元素〔3〕 C30B29/06 硅〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;C;3;0;B;2;5;/;1;6;;;C;3;0;B;2;5;/;1;0查看分类表>
申请人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	蒲春
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	彭瑞欣;张天舒

摘要

本发明提供一种调节装置、反应腔室及半导体加工设备，调节装置包括调节杆、连接杆和支撑杆，支撑杆用于支撑连接杆，且支撑杆与连接杆动连接；连接杆的固定端与感应线圈的一个子线圈固定连接，连接杆的活动端与调节杆的一端通过旋转轴固定；通过调节调节杆的移动和/或旋转带动与之连接的连接杆的活动端围绕旋转轴旋转，因而间接带动连接杆的固定端围绕旋转轴旋转，固定端在旋转的过程中带动与之固定连接的子线圈移动，以实现调节该子线圈和与之相邻的子线圈之间的间距。本发明提供的调节装置，不仅可以提高感应线圈对托盘加热的均匀性，从而可以提高工艺质量；而且可以提高该调节装置的实用性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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