用于测量三维矢量的微机电系统元件

发明专利无效专利

申请号：
CN200910150864.0
IPC分类号：B81B7/02;G01P15/09;G01P9/02;G01H11/08;G01L1/16
申请日期：
2009-06-25
申请人：
雅马哈株式会社

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著录项信息

专利名称	用于测量三维矢量的微机电系统元件
申请号	CN200910150864.0	申请日期	2009-06-25
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2009-12-30	公开/公告号	CN101613074
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B7/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B7/00 微观结构系统〔7，2006.01〕 B81B7/02 包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微电子—机械系统（MEMS）（B81B7/04优先）〔7，2006.01〕	IPC分类号	B;8;1;B;7;/;0;2;;;G;0;1;P;1;5;/;0;9;;;G;0;1;P;9;/;0;2;;;G;0;1;H;1;1;/;0;8;;;G;0;1;L;1;/;1;6查看分类表>
申请人	雅马哈株式会社	申请人地址	日本静冈县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	雅马哈株式会社	当前权利人	雅马哈株式会社
发明人	服部敦夫
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	葛青

摘要

在本发明中假定x轴线、y轴线和z轴线是直角坐标系的三条轴线的情况下，本发明提供一种微机电系统元件包括：支承部分，其沿y方向的长度比沿x方向的长度短；平行设置的两个膜状梁部分，其沿y方向的长度比沿x方向的长度短；配重部分，其沿y方向的长度比沿x方向的长度短，该配重部分跨过两个梁部分的中心，该配重部分包括连接部，该连接部跨过所述两个梁部分，两个突出部在所述两个梁部分之间的空间中从该连接部突出到相反方向；和多个畸变检测器，放置在每个梁部分上并对与梁部分的变形相对应的畸变进行检测，以测量与作用在配重部分上的力相对应的矢量的xyz分量。

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