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一种可自主分压的硅漂移探测器

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202022750183.2
  • IPC分类号:H01L31/0352;H01L31/115;H01L27/144;G06F17/15
  • 申请日期:
    2020-11-24
  • 申请人:
    湘潭大学
著录项信息
专利名称一种可自主分压的硅漂移探测器
申请号CN202022750183.2申请日期2020-11-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/0352IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;0;3;5;2;;;H;0;1;L;3;1;/;1;1;5;;;H;0;1;L;2;7;/;1;4;4;;;G;0;6;F;1;7;/;1;5查看分类表>
申请人湘潭大学申请人地址
湖南省湘潭市雨湖区湘潭大学 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人湘潭大学当前权利人湘潭大学
发明人李正;母恒恒
代理机构长沙新裕知识产权代理有限公司代理人刘加
摘要
本实用新型公开了一种可自主分压的硅漂移探测器,所述探测器包括正六棱柱状的硅基体,硅基体正面中心掺杂有中心阳极,中心阳极周围掺杂有正面阴极环,硅基体反面掺杂有反面阴极环,中心阳极、正面阴极环和反面阴极环表面均附着有金属铝,金属铝之间的硅基体上附着有二氧化硅保护层,二氧化硅保护层内分别原子层沉积有正面分压电阻圈和反面分压电阻圈;本实用新型内部电势、电场分布均匀,组合成阵列时没有死区,使用时无需外接电阻,避免了外接电阻对探测器面积和性能的限制。

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