一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920155115.6
IPC分类号：B01D19/02
申请日期：
2019-01-29
申请人：
广州森川合成材料有限公司

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著录项信息

专利名称	一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置
申请号	CN201920155115.6	申请日期	2019-01-29
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01D19/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01D 分离（用湿法从固体中分离固体入B03B、B03D，用风力跳汰机或摇床入B03B，用其他干法入B07；固体物料从固体物料或流体中的磁或静电分离，利用高压电场的分离入B03C；离心机、涡旋装置入B04B；涡旋装置入B04C；用于从含液物料中挤出液体的压力机本身入B30B 9/02）〔5〕 B01D19/00 液体的脱气 B01D19/02 泡沫的分散或防止	IPC分类号	B;0;1;D;1;9;/;0;2查看分类表>
申请人	广州森川合成材料有限公司	申请人地址	广东省广州市南沙区榄核镇稳盈街4号301 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广州森川合成材料有限公司	当前权利人	广州森川合成材料有限公司
发明人	钟水英;何伟富;何伟豪
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型涉及半导体器件制造技术领域，且公开了一种水性蚀刻光阻剂脱气泡装置，包括顶端开口的除泡罐和真空泵，除泡罐的侧壁顶端固定连通有气管，气管远离除泡罐的一端与真空泵的进气端固定连通，除泡罐的外侧壁顶端螺纹连接有罐盖，除泡罐的顶部开设有环形的安装槽，安装槽的内部嵌设有与安装槽相匹配的橡胶圈，罐盖的内顶部开设有环形的容纳槽，橡胶圈的顶端延伸至容纳槽的内部，橡胶圈的顶部与容纳槽的内顶部相抵，且橡胶圈的内侧壁和外侧壁分别与容纳槽的两个内侧壁相抵，罐盖的顶部固定连通有进料管，除泡罐的底部固定连通有出料管。本实用新型能够有效地对光阻剂进行脱气泡，且有效地避免了光阻剂在倒出时会洒落的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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