一种排气装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201120321525.7
IPC分类号：B05C11/10
申请日期：
2011-08-30
申请人：
苏州卫尔弘勒科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种排气装置
申请号	CN201120321525.7	申请日期	2011-08-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05C11/10 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置（喷射装置、雾化装置、喷嘴入B05B；把液体或其他流体涂布于物体上的静电喷射装置入B05B 5/08）〔2〕 B05C11/00 在B05C 1/00至B05C 9/00中没有专门列入的部件、零件及附件（B05C 19/00优先；操纵及夹持工件的方法入B05C 13/00；设备的屏蔽、喷雾装置入B05C 15/00）〔2〕 B05C11/10 液体或其他流体的存贮、供给或控制，过量液体或其他流体的回收	IPC分类号	B;0;5;C;1;1;/;1;0查看分类表>
申请人	苏州卫尔弘勒科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市苏州工业园区双灯路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州卫尔弘勒科技有限公司	当前权利人	苏州卫尔弘勒科技有限公司
发明人	夏俊东;徐锦宏;吴锦泽;邱柏诚;项达林;张飞
代理机构	苏州华博知识产权代理有限公司	代理人	傅靖

摘要

一种排气装置，应用于设有光阻瓶的半导体业光组喷涂机上，所述排气装置包括分别与所述光阻瓶相连通的进气管与出气管，所述出气管深入所述光阻瓶的底部，所述进气管高出所述出气管设置，所述进气管上还设置有进气阀；还包括控制所述进气阀启闭的控制装置；所述控制装置包括plc控制器、与所述进气阀电连接的电磁阀组、以及设置于所述出气管上的用于检测所述出气管内气体的传感器，所述传感器、电磁阀组分别与所述plc控制器电连接。通过传感器检测出气管内是否存在气体，并将信号传递给plc控制器，plc控制器通过控制电磁阀组对进气阀进行通断，保证光阻瓶中的气体能够彻底的排出，且排气速度较快，排气效率较高，减少光阻的浪费，成本较低。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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