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一种用于光刻机的压紧装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202211167127.3
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2022-09-23
  • 申请人:
    广东科视光学技术股份有限公司
著录项信息
专利名称一种用于光刻机的压紧装置
申请号CN202211167127.3申请日期2022-09-23
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2022-11-18公开/公告号CN115356901A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人广东科视光学技术股份有限公司申请人地址
广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼) 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东科视光学技术股份有限公司当前权利人广东科视光学技术股份有限公司
发明人王华;陈志特;甘泉
代理机构深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙)代理人王晓艳
摘要
本发明公开了一种用于光刻机的压紧装置,包括压紧机构;压紧机构包括安装座,安装座沿着转轴的中心对称设置有两个,安装座上设置有驱动件,驱动件的输出端通过联动件与压紧件连接;压紧件包括固定座,固定座安装在联动件的支撑杆的端部上,固定座与连接梁的中部转动连接,连接梁的一端与联动件的活动杆活动连接、另一端与压板连接;联动件包括支撑杆,两个支撑杆分别沿着安装座的中心线对称设置,两个支撑杆之间设置有连接杆,连接杆的一端与驱动件的输出端连接,连接杆的另一端与支撑板连接,支撑杆上设置有限位槽;支撑板的两端分别通过活动杆与连接梁连接,本发明对PCB板体进行压紧具有操作简单,方便压紧的优点。

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