一种应用于半导体工艺的运输推车

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201820646148.6
IPC分类号：H01L21/677;H01L21/68;H01L21/673
申请日期：
2018-05-03
申请人：
晶晨半导体（深圳）有限公司

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专利名称	一种应用于半导体工艺的运输推车
申请号	CN201820646148.6	申请日期	2018-05-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/677 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/677 用于传送的，例如在不同的工作站之间〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人	晶晨半导体（深圳）有限公司	申请人地址	广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	晶晨半导体（深圳）有限公司	当前权利人	晶晨半导体（深圳）有限公司
发明人	孙顺清
代理机构	上海申新律师事务所	代理人	俞涤炯

摘要

本实用新型提供一种应用于半导体工艺的运输推车，包括车身由固定支架组成，固定支架的边缘设置滑槽，固定支架的底部设有滚轮；至少一支撑板，水平设置于固定支架上，每层支撑板的边缘设置与滑槽相匹配的滑块，每层支撑板上还设置一收纳室；驱动装置包括轴承及电机，轴承设置于每层支撑板的下方，电机驱动轴承带动滑块于滑槽内滑动，以带动每层支撑板运动；触控面板电连接驱动装置；防震装置，设置于固定支架与滚轮之间。有益效果在于：采用电机驱动和触控面板操作多层支撑板，并且每层支撑板上设置收纳室，便于分类收集小的半导体器件，车身底部设置防震装置与脚撑，起到防震效果和防止滑动的效果，使得运输推车的制动性和稳定性更好。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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