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一种多层复合类富勒烯薄膜在汽车发动机上产业化的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510705272.6
IPC分类号：C23C14/35;C23C14/06
申请日期：
2015-10-27
申请人：
中国科学院兰州化学物理研究所

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种多层复合类富勒烯薄膜在汽车发动机上产业化的方法
申请号	CN201510705272.6	申请日期	2015-10-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-01-06	公开/公告号	CN105220120A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/35 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕 C23C14/35 利用磁场的，例如磁控溅射〔5〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;0;6查看分类表>
申请人	中国科学院兰州化学物理研究所	申请人地址	甘肃省兰州市城关区天水中路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院兰州化学物理研究所	当前权利人	中国科学院兰州化学物理研究所
发明人	高凯雄;张俊彦;张斌;强力;王健
代理机构	兰州中科华西专利代理有限公司	代理人	方晓佳

摘要

本发明公开了一种多层复合类富勒烯薄膜在汽车发动机上产业化的方法。本发明通过阴极电弧与非平衡磁控溅射相结合的一体化技术，并配合高功率脉冲离子源来提高镀膜区域的等离子体密度技术，来实现多层复合类富勒烯薄膜在汽车发动机上的产业化。本发明所制备多层复合类富勒烯薄膜具有低摩擦系数、低磨损、高弹性回复、高结合力等优异的综合性能，可大幅度提高发动机质量及使用寿命。

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