蓝宝石衬底材料抛光后表面洁净方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201010231658.5
IPC分类号：B08B3/10;B08B3/08
申请日期：
2010-07-21
申请人：
河北工业大学

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著录项信息

专利名称	蓝宝石衬底材料抛光后表面洁净方法
申请号	CN201010231658.5	申请日期	2010-07-21
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2010-12-15	公开/公告号	CN101912855A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/10 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/04 与液体接触的清洁 B08B3/10 对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;1;0;;;B;0;8;B;3;/;0;8查看分类表>
申请人	河北工业大学	申请人地址	天津市红桥区光荣道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	河北工业大学	当前权利人	河北工业大学
发明人	刘玉岭;牛新环;刘金玉
代理机构	天津市三利专利商标代理有限公司	代理人	闫俊芬

摘要

本发明涉及蓝宝石衬底材料表面高精密加工过程中化学机械抛光(CMP)抛光后表面洁净技术。提供一种选用中性介质的水抛液，该水抛液选用活性剂、螯合剂、阻蚀剂组成，当碱性抛光刚刚完成后，马上使用上述水抛液并采用大流量水抛的方法，可将残留的CMP抛光液冲走，吸附易清洗物质迅速降低表面张力并阻止反应继续进行(物理吸附状态)、形成单分子钝化膜、并可使金属离子形成可溶的螯合物，从而达到洁净、完美的抛光表面。该水抛液具有成本低、不污染环境及腐蚀设备的优点。

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