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一种芯片载带光刻用挡板机构

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201920854910.4
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2019-06-06
  • 申请人:
    常州欣盛半导体技术股份有限公司
著录项信息
专利名称一种芯片载带光刻用挡板机构
申请号CN201920854910.4申请日期2019-06-06
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人常州欣盛半导体技术股份有限公司申请人地址
江苏省常州市武进区东方东路51-1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人常州欣盛半导体技术股份有限公司当前权利人常州欣盛半导体技术股份有限公司
发明人蔡水河
代理机构北京驰纳智财知识产权代理事务所(普通合伙)代理人蒋路帆
摘要
本实用新型提供了一种芯片载带光刻用挡板机构,包括放料架、挡板机构、收料架和压辊,所述放料架、挡板机构、收料架和压辊设置在光刻舱内,所述压辊两端与光刻舱内壁转动连接,所述挡板机构位于放料架和收料架之间,所述挡板机构的左右两端各有一个压辊,两个所述压辊之间的载带贴在挡板机构上并随着挡板机构转动。本实用新型结构简单,通过放料架放料,再由挡板机构和压辊进行光刻,最后由收料架收料,完成了载带的光刻工序,易于实现,加工效率高,可实现连续生产。

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