一种一体化刻蚀方法发明专利
申请号：CN201811011770.0
LOC分类号:H01L21/67
IPC结构图谱：
- A人类生活必需
- A6保健；救生；娱乐
- A61医学或兽医学；卫生学
- A61M将介质输入人体内或输到人体上的器械（将介质输入动物体内或输入到动物体上的器械入A61D7/00；用于插入棉塞的装置入A61F13/26；喂饲食物或口服药物用的器具入A61J；用于收集、贮存或输注血液或医用液体的容器入A61J1/05）；为转移人体介质或为从人体内取出介质的器械（外科用的入A61B，外科用品的化学方面入A61L；将磁性元件放入体内进行磁疗的入A61N2/10）；用于产生或结束睡眠或昏迷的器械〔4，5〕
- A61M5/00以皮下注射、静脉注射或肌内注射的方式将介质引入体内的器械；其附件，例如充填或清洁器、靠手（专门适用于医用的联接管、耦合器、阀或分流元件入A61M39/00；专门适用于医用或药用的容器入A61J1/00）〔5〕
- A61M5/14输注器械，例如重力法输注；血液输注；其所用的附件〔5〕
- A61M5/168用于控制或计算身体的介质流量的装置，例如滴注计、计数器〔5〕
- A61M5/172电的或电子的〔5〕
