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反转装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410165996.1
  • IPC分类号:C03B33/02
  • 申请日期:
    2014-04-23
  • 申请人:
    三星钻石工业股份有限公司
著录项信息
专利名称反转装置
申请号CN201410165996.1申请日期2014-04-23
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-12-17公开/公告号CN104211293A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C03B33/02IPC分类号C;0;3;B;3;3;/;0;2查看分类表>
申请人三星钻石工业股份有限公司申请人地址
日本大阪府摄津市香露园32番12号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三星钻石工业股份有限公司当前权利人三星钻石工业股份有限公司
发明人西尾仁孝
代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司代理人寿宁;张华辉
摘要
本发明是有关于一种反转装置。该反转装置可缩小用以使基板反转的空间。反转装置1具备第1保持构件3a与旋转构件2。第1保持构件3a,具有保持基板W的第1保持面。旋转构件2,将第1保持构件3a支承成可沿着第1轴滑动,且以使第1保持构件的第1保持面的正反面反转的方式旋转。第1保持构件3a在第1前进位置与第1后退位置之间滑动。本发明提供的技术方案具有能以更小空间使基板反转的优点。

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