一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202023051597.2
IPC分类号：C23C14/50;C23C14/34
申请日期：
2020-12-17
申请人：
镇江晶鼎光电科技有限公司

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专利名称	一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具
申请号	CN202023051597.2	申请日期	2020-12-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/50 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/50 基座〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;0;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	镇江晶鼎光电科技有限公司	申请人地址	江苏省镇江市新区潘宗路38号健康食品产业园13号楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	镇江晶鼎光电科技有限公司	当前权利人	镇江晶鼎光电科技有限公司
发明人	周东平
代理机构	苏州市方略专利代理事务所（普通合伙）	代理人	李瑞清

摘要

本实用新型公开了一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，属于镀膜机夹具领域，包括转动轴、底座及顶座，所述转动轴依次穿过顶座及底座上的连接孔并与顶座及底座相连，所述底座上表面及顶座下表面上均设有一对横向的第一凹槽，一对所述第一凹槽分别设于连接孔两侧，所述底座及顶座之间通过一对侧板相连，一对所述侧板分别设于转动轴两侧，所述侧板远离转动轴侧面上设有纵向的第三凹槽。该种溅射镀膜机的双面镀膜夹具可很好地固定住陶瓷基片，可使陶瓷基片两面均能很好地进行镀膜，可有效提高溅射镀膜机对陶瓷基片的镀膜效率及镀膜质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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