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夹取硅片的石英舟

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200820095691.8
  • IPC分类号:H01L21/687
  • 申请日期:
    2008-07-21
  • 申请人:
    深圳深爱半导体有限公司
著录项信息
专利名称夹取硅片的石英舟
申请号CN200820095691.8申请日期2008-07-21
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/687IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人深圳深爱半导体有限公司申请人地址
变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳深爱半导体股份有限公司当前权利人深圳深爱半导体股份有限公司
发明人于祝鹏;叶宗桂
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司代理人郑小粤
摘要
本实用新型公开了一种夹取硅片的石英舟,包括固定条及两个以上卡片条,所述卡片条相互平行地固定在固定条上并与所述固定条垂直,所述卡片条上设有与硅片相适应的座槽。所述卡片条可以为底架条、两支架条、边架条的组合。所述底架条、支架条及边架条相互平行,所述支架条位于底架条外侧,所述边架条位于支架条外侧;所述固定条与所述底架条、支架条及边架条垂直,所述固定条与所述底架条、支架条及边架条固定连接;所述底架条、边架条上设有相应的座槽。本实用新型一次即可将花篮或石英舟里的硅片全部转移,工作效率较高;并且可以避免人为夹取放置时硅片与硅片之间产生摩擦造成划伤,提高了产品品质。

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