面向物联网硅基SIW带金属柱固支梁可重构带通滤波器

发明专利有效专利

申请号：
CN201710431163.9
IPC分类号：H01P1/203
申请日期：
2017-06-08
申请人：
东南大学

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著录项信息

专利名称	面向物联网硅基SIW带金属柱固支梁可重构带通滤波器
申请号	CN201710431163.9	申请日期	2017-06-08
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-09-22	公开/公告号	CN107196025A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01P1/203 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01P 波导；谐振器、传输线或其他波导型器件（工作在光频的入G02B） H01P1/00 辅助器件（波导型耦合器件入H01P 5/00） H01P1/20 选频器件，例如滤波器 H01P1/201 横电磁波滤波器（H01P 1/212，H01P 1/213，H01P 1/215，H01P 1/219优先）〔3〕 H01P1/203 带状线滤波器〔3〕	IPC分类号	H;0;1;P;1;/;2;0;3查看分类表>
申请人	东南大学	申请人地址	江苏省南京市栖霞区西岗办事处摄山星城齐民东路8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东南大学	当前权利人	东南大学
发明人	廖小平;陈子龙
代理机构	南京苏高专利商标事务所（普通合伙）	代理人	柏尚春

摘要

本发明公开了一种面向物联网的硅基SIW带金属柱固支梁可重构带通滤波器，包括SIW带通滤波器、转接结构(3)和带金属柱的MEMS固支梁结构。带金属柱的MEMS固支梁结构包括MEMS固支梁(6)，MEMS固支梁依靠锚区(7)的支持悬浮在硅衬底(1)之上，MEMS固支梁的下表面上设置有金属柱(11)，硅衬底对应金属柱的位置开设有孔(14)，且该孔(14)穿过硅衬底(1)上的氮化硅层(10)和上表面金属层(5)进入硅衬底(1)中。本发明只需要通过控制MEMS固支梁的状态就能够改变滤波器通带的中心频率，达到切换滤波器通带中心频率的目的，MEMS固支梁可以实现快速的DOWN态和UP态的转换，可以有效地实现微波电路中对滤波器滤波范围的控制。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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