磁头及磁头制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200610172286.7
IPC分类号：G11B5/127;G11B5/17;G11B5/60;G11B21/21
申请日期：
2006-12-30
申请人：
富士通株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	磁头及磁头制造方法
申请号	CN200610172286.7	申请日期	2006-12-30
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2007-12-05	公开/公告号	CN101083080
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G11B5/127 ? IPC结构图谱： G 物理 G9 G部其他 G11 信息存储 G11B 基于记录载体和换能器之间的相对运动而实现的信息存储（以不需要通过换能器重现记录值的方式记录测量值的入G01D 9/00；利用有机械标记的带子，例如，穿孔纸带或利用单元记录卡，如穿孔卡片或具有磁性标记的卡片的记录或重现设备入G06K；将数据从记录载体的一种类型转移到另一种类型上的入G06K 1/18；将重放装置的输出耦合到无线电接收机上去的电路入H04B 1/20；唱机拾音器之类的声音机电传感器或为此所用的电路入H04R） G11B5/00 借助于记录载体的激磁或退磁进行记录的；用磁性方法进行重现的；为此所用的记录载体（G11B 11/00优先）〔4〕 G11B5/127 磁头的结构或制造，例如电感应的〔4〕	IPC分类号	G;1;1;B;5;/;1;2;7;;;G;1;1;B;5;/;1;7;;;G;1;1;B;5;/;6;0;;;G;1;1;B;2;1;/;2;1查看分类表>
申请人	富士通株式会社	申请人地址	日本神奈川县川崎市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	富士通株式会社	当前权利人	富士通株式会社
发明人	大松英晃;伊藤隆司
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	黄纶伟;迟军

摘要

本发明公开了磁头及磁头制造方法。本发明提供了一种磁头，其中，将加热器可靠地并入所述磁头中，并可以使用由来自所述加热器的热量所导致的热膨胀来可靠地控制所述磁头在介质表面上方的飞行高度。本发明还提供了一种所述磁头的制造方法。作为制造所述加热器的步骤，所述制造方法包括以下步骤：在基板的表面上形成二氧化硅层；在所述二氧化硅层的表面上依次形成钽层、加热层和另一钽层作为加热器形成层；根据所述加热器的平面图案对光刻胶进行构图以覆盖所述加热器形成层的表面；通过以所述光刻胶为掩模在所述加热器形成层上执行离子铣削来按一图案形成所述加热器；在所述加热器的表面覆盖有所述光刻胶的状态下溅射二氧化硅层，使该二氧化硅层的厚度大于所述加热器的厚度；以及通过剥离将所述光刻胶连同覆盖所述光刻胶的外表面的二氧化硅层一起从所述加热器的表面去除。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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