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全自动多功能清洗机

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201610554749.X
  • IPC分类号:B08B3/02;B08B11/00;B08B13/00;H01L31/18;C30B33/00
  • 申请日期:
    2016-07-15
  • 申请人:
    苏州伟仕泰克电子科技股份有限公司
著录项信息
专利名称全自动多功能清洗机
申请号CN201610554749.X申请日期2016-07-15
法律状态撤回申报国家暂无
公开/公告日2016-11-09公开/公告号CN106076939A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B3/02IPC分类号B;0;8;B;3;/;0;2;;;B;0;8;B;1;1;/;0;0;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;C;3;0;B;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人苏州伟仕泰克电子科技股份有限公司申请人地址
江苏省苏州市高新区前桥路299号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州伟仕泰克电子科技股份有限公司当前权利人苏州伟仕泰克电子科技股份有限公司
发明人袁树明;韦建晶
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明涉及全自动多功能清洗机,包括机体、横移电机、电机座、升降电机、加热器、石英槽、排风法兰、机械臂、照明系统,加热器优选石英外壁。石英槽为6个,其中第2、4、6个为快排清洗槽。石英槽中的快排清洗槽内设置快速喷淋及冲洗系统。本发明是一种可以自动补充进液与排液,由机械臂执行运输及工艺切换的自动化设备。由于机械臂、升降电机、横移电机、加热器、排风法兰、照明系统、石英槽、加热器均通过线缆与外接的信息处理终端连接,因此可以通过信息处理终端对各部件进行控制,产品主要通过机械臂来正确地切换工艺流程并保证运输。而且,石英槽为6槽式设计,可以同时满足HF酸洗、硫酸粗洗、硫酸精洗的要求。

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