一种适应不同尺寸晶圆的夹持装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201420833451.9
IPC分类号：B24B37/27
申请日期：
2014-12-25
申请人：
苏州凯锝微电子有限公司

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著录项信息

专利名称	一种适应不同尺寸晶圆的夹持装置
申请号	CN201420833451.9	申请日期	2014-12-25
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/27 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/27 工件载体〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;2;7查看分类表>
申请人	苏州凯锝微电子有限公司	申请人地址	江苏省苏州市高新区珠江路525号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州凯锝微电子有限公司	当前权利人	苏州凯锝微电子有限公司
发明人	刘思佳
代理机构	南京纵横知识产权代理有限公司	代理人	董建林

摘要

本实用新型公开了一种适应不同尺寸晶圆的夹持装置，其特征是，包括抓杆、夹持部（3），伸缩圆环（1），所述抓杆包括三个上端连接在所述伸缩圆环（1）上的弧形抓杆（2）；所述弧形抓杆（2）的下端连接所述夹持部（3）；所述弧形抓杆（2）上的中部设置有滑槽（5）；所述滑槽（5）上设置箍环（4）；所述夹持部（3）为呈圆弧形的夹持杆；所述夹持部（3）的内侧设置圆弧形卡槽（31）；所述圆弧形卡槽（31）的表面设置橡胶；所述箍环（4）与滑槽（5）相交处设置卡扣（6）；本实用新型结构简单，能够准确固定晶圆，适应不同尺寸的晶圆，方便实用。

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