离子注入机中质量分析器的入口部件

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201520550305.X
IPC分类号：H01J37/317
申请日期：
2015-07-27
申请人：
美尔森先进石墨（昆山）有限公司

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著录项信息

专利名称	离子注入机中质量分析器的入口部件
申请号	CN201520550305.X	申请日期	2015-07-27
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/317 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/30 物体局部处理用的电子束管或离子束管 H01J37/317 用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入（H01J 37/36优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;1;7查看分类表>
申请人	美尔森先进石墨（昆山）有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山市开发区太湖路东侧、景王路南侧变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	美尔森先进石墨（昆山）有限公司	当前权利人	美尔森先进石墨（昆山）有限公司
发明人	芮敏之
代理机构	昆山四方专利事务所	代理人	盛建德;段新颖

摘要

本实用新型公开了一种离子注入机中质量分析器的入口部件，包括材料均为高纯度等静压石墨的第一平板和第二平板，第一平板与第二平板平行相对设置，且通过两个连接件固定连接起来，形成一截面为方形的飞行通道；第一平板和第二平板的内表面具有凸凹不平的花纹。本实用新型将直接接触离子束的入口部件设计成等静压石墨材料，可以有效解决金属入口部件不耐高温的问题；且杂质含量降低到5ppm以内，形成高纯度的等静压石墨材料，可以有效降低杂质含量对离子注入工艺参数的影响。将第一平板和第二平板的内表面设计成具有凸凹不平的花纹面，可以有效粘结非需要的离子束，提高入口部件收集非需要离子的能力。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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