一种激光切割机的防护装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201220229682.X
IPC分类号：B23K26/42;B23K26/38
申请日期：
2012-05-22
申请人：
上海华力微电子有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种激光切割机的防护装置
申请号	CN201220229682.X	申请日期	2012-05-22
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/42	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;4;2;;;B;2;3;K;2;6;/;3;8查看分类表>
申请人	上海华力微电子有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海华力微电子有限公司	当前权利人	上海华力微电子有限公司
发明人	孙蓓瑶;唐涌耀
代理机构	上海新天专利代理有限公司	代理人	王敏杰

摘要

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种激光切割机的防护装置，包括至少一侧面挡板，所述侧面挡板上固定设置至少一滑轮和至少一直角支架；一激光切割机底板上设置与所述侧面单板匹配的凹槽，所述侧面挡板可滑动的卡接在所述凹槽内，所述滑轮随着所述侧面挡板在所述激光切割机底板上滚动，所述直角支架贴合所述激光切割机底板随所述侧面挡板滑动，即通过在机关切割机外围设置可移动的遮挡激光的装置，能有效的缩小激光折射的范围，从而降低对人体造成的伤害，且有效的促进了失效分析工作的发展。

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