标靶影像对位装置及具有该装置的曝光机

发明专利无效专利

申请号：
CN201510755795.1
IPC分类号：G03F9/00;G03F7/20
申请日期：
2015-11-09
申请人：
川宝科技股份有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	标靶影像对位装置及具有该装置的曝光机
申请号	CN201510755795.1	申请日期	2015-11-09
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2017-05-17	公开/公告号	CN106681108A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F9/00 原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地（G03F 7/22优先；照相蒙片的制备入G03F 1/00；在复制用的照相印片设备中的入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;9;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	川宝科技股份有限公司	申请人地址	中国台湾桃园市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	川宝科技股份有限公司	当前权利人	川宝科技股份有限公司
发明人	张鸿明
代理机构	北京市浩天知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘云贵;王东

摘要

本发明的标靶影像对位装置包含两个维移载单元及光学检测单元，二维移载单元包括第一滑轨、第一滑座、第二滑轨及第二滑座，第一滑轨用于设置于曝光机上且位于对位位置的邻侧，并以其滑动方向平行于第一方向的方式配置；第一滑座可移动地设置于第一滑轨上以被驱动滑动；第二滑轨与第一滑座结合并以其滑动方向平行于第二方向且延伸至对位位置上方的方式配置，第二方向垂直第一方向；第二滑座可移动地设置于第二滑轨上以被驱动滑动；光学检测单元设置于第二滑座上，在对位程序期间，光学检测单元与第二滑座之间的相对位置为固定。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供