导电连线的制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN01141035.3
IPC分类号：--
申请日期：
2001-08-28
申请人：
因芬尼昂技术股份公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	导电连线的制造方法
申请号	CN01141035.3	申请日期	2001-08-28
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2002-03-27	公开/公告号	CN1341960
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	因芬尼昂技术股份公司	申请人地址	德国瑙伊比贝尔格市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	英飞凌科技股份有限公司	当前权利人	英飞凌科技股份有限公司
发明人	B·哈斯勒;R·F·施纳贝;G·欣德勒;V·魏因里希
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	张志醒

摘要

本发明涉及一种通过绝缘层，接触孔和导电材料制造导电连线的方法，其接触孔用所述导电材料填充。本发明所述方法可制造出一种酒杯形状的接触孔，其中的导电填充材料和势垒层不会产生公知的问题，例如形成空腔，过腐蚀沟槽和介电“封闭”。通过本方法，仅仅通过少数几个掩模步骤，即可在诸如高集成度的FRAMs和DRAMs的选择晶体管的扩散区和存储器电容的下部电极之间制出导电连线。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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