一种超纯硝酸的连续化制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201010252168.3
IPC分类号：C01B21/46
申请日期：
2010-08-12
申请人：
上海华谊微电子材料有限公司

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著录项信息

专利名称	一种超纯硝酸的连续化制备方法
申请号	CN201010252168.3	申请日期	2010-08-12
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2011-01-12	公开/公告号	CN101941683A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B21/46 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B21/00 氮；其化合物 C01B21/20 氮的氧化物；氮的含氧酸；其盐类 C01B21/38 硝酸 C01B21/46 提纯；分离	IPC分类号	C;0;1;B;2;1;/;4;6查看分类表>
申请人	上海华谊微电子材料有限公司	申请人地址	中国上海市宝山区铁力路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	联仕（上海）电子化学材料有限公司,上海华谊（集团）公司	当前权利人	联仕（上海）电子化学材料有限公司,上海华谊（集团）公司
发明人	詹家荣;柯蒂斯·道格拉斯·德芙;林益兴
代理机构	上海开祺知识产权代理有限公司	代理人	费开逵

摘要

本发明公开了一种超纯硝酸的连续化制备方法。先将高岭土与粘结剂聚乙烯醇混合，烧结后用络合剂进行浸渍吸附，制备得到络合剂与固相载体高岭土组成的复合膜；然后再以工业硝酸为原料，在常压下进行一级精馏，收集的馏分通过上述复合膜进行一级膜过滤，滤液常压下进行二级精馏，收集的馏分进行二级膜过滤，连续化得到本发明的目标产物超纯硝酸，含量为70.0±1.0wt％。经检测金属离子杂质的含量均低于1ppb，大于0.5μm的尘埃颗粒低于5个/毫升，符合SEMIC8标准。本发明在精馏的同时分别收集重质废酸和轻质废酸，对废酸进行处理和回收再利用，提高了产品的质量和产能，符合环保的要求，成本低，质量好，产品纯度稳定，适于工业化连续生产。

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