一种双轨高产能晶硅电池片抗光衰退火炉设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120028732.7
IPC分类号：H01L21/67;H01L31/18
申请日期：
2021-01-07
申请人：
徐州中辉光伏科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种双轨高产能晶硅电池片抗光衰退火炉设备
申请号	CN202120028732.7	申请日期	2021-01-07
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	徐州中辉光伏科技有限公司	申请人地址	江苏省徐州市沛县经济开发区昆明路南侧变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	徐州中辉光伏科技有限公司	当前权利人	徐州中辉光伏科技有限公司
发明人	王泉龙;李琪;孙珠珠;周国栋
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种双轨高产能晶硅电池片抗光衰退火炉设备，属于电池片生产设备技术领域，一种双轨高产能晶硅电池片抗光衰退火炉设备，包括机体，机体的内底部固定有多个升降杆，升降杆的升降输出端固定有退火处理托盘，退火处理托盘上固定有两组电动输送滑轨，机体内部固定有多个均匀分布的加热单元，机体的外壁上固定有鼓风机，可以实现利用风冷和水冷两种冷却方式进行冷却，且通过特殊的喇叭形出风孔的设置，实现冷空气的均匀分布，提升冷却效率，并且出风孔和冷却水管的合理布置，能够使风冷和水冷有效配合，进一步提升净化效率，另外利用废气净化球显著的增大了废气与废气净化球的接触面积，提升废气的净化效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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