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低温多晶氧化物阵列基板及其制作方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010729669.X
  • IPC分类号:H01L27/12H01L29/786H01L21/77
  • 申请日期:
    2020-07-27
  • 申请人:
    成都中电熊猫显示科技有限公司
著录项信息
专利名称低温多晶氧化物阵列基板及其制作方法
申请号CN202010729669.X申请日期2020-07-27
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2020-09-29公开/公告号CN111725244A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L27/12IPC分类号H01L27/12;H01L29/786;H01L21/77查看分类表>
申请人成都中电熊猫显示科技有限公司申请人地址
四川省成都市双流区公兴街道青栏路17*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人成都中电熊猫显示科技有限公司当前权利人成都中电熊猫显示科技有限公司
发明人刘翔
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司代理人朱颖;臧建明
摘要
本发明提供一种低温多晶氧化物阵列基板及其制作方法。本发明提供的低温多晶氧化物阵列基板,包括衬底基板、第一遮光层、第二遮光层、第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管,第一遮光层和第二遮光层间隔设置在衬底基板上,第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管沿阵列基板的层叠方向分别设置在第一遮光层和第二遮光层上方;第一薄膜晶体管包括第一半导体图形、第一源极、第一漏极和第一栅极;第二薄膜晶体管包括第二半导体图形、第二源极、第二漏极和第二栅极;其中,第一半导体图形为多晶硅半导体图形,第二半导体图形为金属氧化物半导体图形。本发明提供的阵列基板在满足高分辨率要求的同时,可降低显示面板的功耗。

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