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物理量传感器、电子设备以及移动体

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410014610.7
  • IPC分类号:G01D5/241
  • 申请日期:
    2014-01-13
  • 申请人:
    精工爱普生株式会社
著录项信息
专利名称物理量传感器、电子设备以及移动体
申请号CN201410014610.7申请日期2014-01-13
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-07-16公开/公告号CN103925936A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01D5/241IPC分类号G;0;1;D;5;/;2;4;1查看分类表>
申请人精工爱普生株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人精工爱普生株式会社当前权利人精工爱普生株式会社
发明人成瀬敦纪
代理机构北京金信知识产权代理有限公司代理人黄威;苏萌萌
摘要
本发明提供一种物理量传感器,其抑制因元件片与固定电极的抵接而产生的损坏。所述物理量传感器的特征在于,具备:元件片,其包括可动锤、和从所述可动锤延伸设置的可动电极部;固定电极部,其以在所述元件片进行位移的第一方向上与所述元件片隔开间隙(d1)的方式而设置;固定部,其以与所述元件片的端部对置的方式而设置,在所述可动锤的所述端部上,在与所述固定部对置的位置处设置有凹部,在所述固定部上,设置有朝向所述可动锤而延伸的第一止动部,所述第一止动部的顶端被插入至所述凹部内,并且所述顶端与所述可动锤之间的间隙(d2)窄于所述间隙(d1)。

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