一种晶圆流片表面缺陷检测装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821427723.X
IPC分类号：G01N21/95;G01N21/88;G01N21/01
申请日期：
2018-08-31
申请人：
江苏英锐半导体有限公司

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专利名称	一种晶圆流片表面缺陷检测装置
申请号	CN201821427723.X	申请日期	2018-08-31
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/95 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;;;G;0;1;N;2;1;/;8;8;;;G;0;1;N;2;1;/;0;1查看分类表>
申请人	江苏英锐半导体有限公司	申请人地址	江苏省盐城市经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏英锐半导体有限公司	当前权利人	江苏英锐半导体有限公司
发明人	王昌华
代理机构	常州市权航专利代理有限公司	代理人	袁兴隆

摘要

本实用新型涉及晶圆流片检测附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片表面缺陷检测装置，其可以提高晶圆流片在检测台上的稳定性，提高检测结果，降低使用局限性；并且提高镭射光束的稳定性，提高镭射光束在晶圆流片顶端的照射范围，方便更换检测位置，降低使用局限性，减少人为因素；包括检测台和镭射光发射器；包括固定轴、锥齿盘、固定圆板、左支撑轴、右支撑轴、左螺纹管、右螺纹管、左螺纹杆、右螺纹杆、左托板、右托板、左滑杆、右滑杆、左带动齿轮、右带动齿轮、左主动齿轮、右主动齿轮、左锥齿轮和右锥齿轮；还包括支撑板、固定板、移动块、左挡板、右挡板、底板、调节丝杠、前滑块、后滑块和第一手轮。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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