剪切测试设备和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200780005635.9
IPC分类号：G01N3/24;G01N19/04
申请日期：
2007-02-16
申请人：
达格精度工业有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	剪切测试设备和方法
申请号	CN200780005635.9	申请日期	2007-02-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2009-03-11	公开/公告号	CN101384894
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N3/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N3/00 用机械应力测试固体材料的强度特性 G01N3/24 施加稳定的剪切力（G01N 3/26，G01N 3/28优先）	IPC分类号	G;0;1;N;3;/;2;4;;;G;0;1;N;1;9;/;0;4查看分类表>
申请人	达格精度工业有限公司	申请人地址	英国白金汉郡变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	达格精度工业有限公司	当前权利人	达格精度工业有限公司
发明人	约翰·罗伯特·赛科斯
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	车文;郑立

摘要

一种用于将剪切负载施加至衬底上的沉积物的测试设备，包括具有与沉积物接触的尖端(24)的悬臂剪切工具(18)，和其上具有压电晶体的背面。在使用中，背面受到压缩力以及其它力，并且来自所述晶体的相应电输出与那些力成比例。在一种实施例中，剪切工具接触沉积物的部分从该剪切工具的正面向后偏移，以改进由压电晶体产生的信号的精度。该设备用于测试通常在半导体器件中存在的沉积物和衬底之间的粘接的强度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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