一种高度(111)取向的锆钛酸铅薄膜的制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200710072252.5
IPC分类号：C04B35/624;C04B35/472;C04B35/48;H01B3/12
申请日期：
2007-05-23
申请人：
哈尔滨工业大学

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专利名称	一种高度(111)取向的锆钛酸铅薄膜的制备方法
申请号	CN200710072252.5	申请日期	2007-05-23
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2007-10-10	公开/公告号	CN101050119
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C04B35/624 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C04 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕 C04B 石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷（微晶玻璃陶瓷入C03C 10/00）；耐火材料（难熔金属的合金入C22C）；天然石的处理〔4〕 C04B35/00 以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物（含有不用作宏观增强剂的，粘接在碳化物、金刚石、氧化物、硼化物、氮化物、硅化物上的游离金属，例如陶瓷或其他金属化合物，例如氧氮化合物或硫化物的入C22C）；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末〔4〕 C04B35/622 形成工艺；准备制造陶瓷产品的无机化合物的加工粉末〔6〕 C04B35/624 溶胶-凝胶法〔6〕	IPC分类号	C;0;4;B;3;5;/;6;2;4;;;C;0;4;B;3;5;/;4;7;2;;;C;0;4;B;3;5;/;4;8;;;H;0;1;B;3;/;1;2查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	王福平;孙秋;魏兆冬;成海涛;姜兆华
代理机构	哈尔滨市松花江专利商标事务所	代理人	荣玲

摘要

一种高度(111)取向的锆钛酸铅薄膜的制备方法，是为了解决采用溶胶-凝胶法制备锆钛酸铅薄膜过程中存在制备方法复杂，可重复操作性差的问题。本发明中的一种高度(111)取向的锆钛酸铅薄膜的制备方法主要由PZT溶胶的制备、PZT薄膜的沉积、PZT薄膜的预晶化和PZT薄膜的晶化这四个步骤完成。本发明制备工艺简单，制备出的锆钛酸铅薄膜(PZT)为高度(111)取向，薄膜表面平整致密、厚度均匀、晶粒大小均匀，本发明制备出的高度(111)取向的锆钛酸铅铁电薄膜具有高的剩余极化值，剩余极化值为43～60μC/cm2，薄膜具有较小的矫顽场，矫顽场仅为60～75kV/cm；采用本发明制备出的锆钛酸铅反铁电薄膜的饱和极化值高。

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