首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

半导体加速度传感器

发明专利无效专利

申请号：
CN97102821.4
IPC分类号：--
申请日期：
1997-02-21
申请人：
株式会社精工电子研究开发中心

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	半导体加速度传感器
申请号	CN97102821.4	申请日期	1997-02-21
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	1998-01-28	公开/公告号	CN1171554
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	株式会社精工电子研究开发中心	申请人地址	日本*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社精工电子研究开发中心	当前权利人	株式会社精工电子研究开发中心
发明人	新荻正隆;齐藤丰;加藤健二
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	吴增勇;萧掬昌

摘要

采用化学蚀刻加工方法,以形成具有扩散电阻的薄壁部分的半导体加速度传感器,扩散电阻用来检测位移造成的电阻阻值变化,在切割刮刀上利用电蚀现象和切割磨料颗粒的电泳现象,以消除加工蜕化或微裂缝问题。

一种用于去除飞机表面隐身涂层的气体辅助激光加工方法

一种用于去除飞机表面隐身涂层的气体辅助激光加工方法

发明授权

一种具有球面特征阵列微结构的金属基体及其构建方法

一种具有球面特征阵列微结构的金属基体及其构建方法

发明授权

一种可控制撞击液滴反弹方向的超疏水表面及其构建方法

一种可控制撞击液滴反弹方向的超疏水表面及其构建方法

发明授权

一种基于梯度润湿表面的水膜流动控制方法

一种基于梯度润湿表面的水膜流动控制方法

发明授权

一步法制备黑色氧化钛/氧化铝复合陶瓷涂层的方法

一步法制备黑色氧化钛/氧化铝复合陶瓷涂层的方法

发明授权

可见光响应的黑色二氧化钛纳米薄膜的制备方法及应用

可见光响应的黑色二氧化钛纳米薄膜的制备方法及应用

发明授权

一种本征超疏水陶瓷涂层及其制备方法

一种本征超疏水陶瓷涂层及其制备方法

发明授权

一种含有导电层的碳纤维增强树脂基复合材料表面除漆方法

一种含有导电层的碳纤维增强树脂基复合材料表面除漆方法

发明授权

具有整体式金属包覆层的复合材料压气机风扇叶片

具有整体式金属包覆层的复合材料压气机风扇叶片

发明授权

一种超混杂复合层板自由滚弯的设备及成形方法

一种超混杂复合层板自由滚弯的设备及成形方法

发明授权

一种复合层板制件的制备方法

发明授权

一种具有除冰功能的翼型前缘及翼型前缘的制备方法

一种具有除冰功能的翼型前缘及翼型前缘的制备方法

发明授权

一种薄壁管三维自由弯曲的方法

发明授权

一种植物纤维表面的改性方法

发明授权

一种具有压电除冰功能的翼型前缘的成型方法

一种具有压电除冰功能的翼型前缘的成型方法

发明授权

一种利用金属配合物显著提高金属胶接强度的方法

一种利用金属配合物显著提高金属胶接强度的方法

发明授权

含石墨烯/树脂/碳纤维改性电热层的复合材料、其制备方法和用途

含石墨烯/树脂/碳纤维改性电热层的复合材料、其制备方法和用途

发明授权

碳纤维增强热塑性超混杂复合层板的损伤修复工艺及其装置

碳纤维增强热塑性超混杂复合层板的损伤修复工艺及其装置

发明授权

一种复合材料层板高速冲击测试夹具

一种复合材料层板高速冲击测试夹具

发明授权

一种方便即食腊肉的制备方法

发明授权

我浏览过的专利

头盔挡风镜定位装置实用新型专利

申请号：CN00258762.9

一种具有低阻N型电子通道的超结SOI-LDMOS器件发明专利

申请号：CN202010657905.1

LOC分类号:H01L29/78

二次空气喷射尾气净化装置实用新型专利

申请号：CN201120412771.3

LOC分类号:F01N3/05

基于径向基函数神经网络的多样化图像标注和检索方法发明专利

申请号：CN201210499091.9

LOC分类号:G06F17/30

一种LED装置发明专利

申请号：CN201910731897.8

LOC分类号:F21S8/00

鞋垫外观设计专利

申请号：CN201830188506.9

LOC分类号:02-04

一种缓释多元复合鲫鱼饲料及其制备方法发明专利

申请号：CN201310563802.9

路由器(4)外观设计专利

申请号：CN201030147629.1

一种女性妇科检查专用服实用新型专利

申请号：CN202020076794.0

LOC分类号:A41D13/12

包装袋（香禾皇）外观设计专利

申请号：CN202030408097.6

LOC分类号:09-05

适用于模块化锂电池模组的端子组合发明专利

申请号：CN201910982048.X

LOC分类号:H01M50/503

一种直线电动推拉杆实用新型专利

申请号：CN202222391797.5

LOC分类号:F16H37/12

一种用于装饰片材的哑光PET薄膜及其制备方法发明专利

申请号：CN202010176838.1

LOC分类号:C08J7/04

一种测距式可清洗键盘实用新型专利

申请号：CN202021953504.2

LOC分类号:G06F3/02

无线车载互联模块（WJUC-1）外观设计专利

申请号：CN202030775658.6

LOC分类号:14-03

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供