一种用于半导体设备研磨头压环清洗的提拉治具

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921223461.X
IPC分类号：B08B13/00;B08B3/08
申请日期：
2019-07-31
申请人：
富乐德科技发展（大连）有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于半导体设备研磨头压环清洗的提拉治具
申请号	CN201921223461.X	申请日期	2019-07-31
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B13/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B13/00 一般用于清洁机器或设备的附件或零件	IPC分类号	B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;B;0;8;B;3;/;0;8查看分类表>
申请人	富乐德科技发展（大连）有限公司	申请人地址	辽宁省大连市保税区海明路179-8号（环普国际产业园B04栋）变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	富乐德科技发展（大连）有限公司	当前权利人	富乐德科技发展（大连）有限公司
发明人	朱光宇;贺贤汉;李泓波;张正伟;陈智慧;王松朋
代理机构	大连智高专利事务所（特殊普通合伙）	代理人	盖小静

摘要

本实用新型公开了一种用于半导体设备研磨头压环清洗的提拉治具，属于半导体设备提拉治具领域，包括提拉底板，所述提拉底板中心处开设有压环清洗槽，所述压环清洗槽上设有盖板，压环清洗槽底面开设有多个通孔；提拉底板上开设有多个提拉把手插槽，多个提拉把手插槽分别位于压环清洗槽两侧且关于压环清洗槽对称；所述提拉底板上连接有多个提拉把手，所述提拉把手设于提拉把手插槽内；结构简单，节约成本，安全性高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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