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薄膜

发明专利有效专利

申请号：
CN201110144307.5
IPC分类号：B24B37/11
申请日期：
2011-05-31
申请人：
南亚科技股份有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	薄膜
申请号	CN201110144307.5	申请日期	2011-05-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-10-17	公开/公告号	CN102729142A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/11 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/11 研具〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;1;1查看分类表>
申请人	南亚科技股份有限公司	申请人地址	中国台湾桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南亚科技股份有限公司	当前权利人	南亚科技股份有限公司
发明人	廖建茂;陈逸男;刘献文
代理机构	北京同立钧成知识产权代理有限公司	代理人	臧建明

摘要

一种薄膜，适用于安装在化学机械研磨机的研磨头上，且薄膜包括主要部分及边缘部分。边缘部分位于主要部分的边缘，其特征在于主要部分与边缘部分之间的第一夹角为钝角。本发明可使经研磨后的基材具有较佳的表面平坦度。

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