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用光学线性元件一次成形制造圆光栅的方法及装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200610013550.2
  • IPC分类号:G03F7/20;G11B7/24
  • 申请日期:
    2006-04-27
  • 申请人:
    天津师范大学
著录项信息
专利名称用光学线性元件一次成形制造圆光栅的方法及装置
申请号CN200610013550.2申请日期2006-04-27
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2006-09-27公开/公告号CN1837963
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;1;1;B;7;/;2;4查看分类表>
申请人天津师范大学申请人地址
天津市卫津路241号天津师范大学物理与电子信息学院 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人天津师范大学当前权利人天津师范大学
发明人李秋祯;张淑良
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种用光学线性元件一次成形制造圆光栅的方法及装置,解决了栅线质量不理想,直线性差,所用设备较多,成本较高,且制造工序多、复杂、周期长等问题。技术方案是:利用透明光学材料制成线性元件,由激光通过该光学线性元件照射涂有感光材料的载体,一次成形整圈的圆光栅线,经物化、干燥处理得到一次成形的圆光栅。装置由激光器、曝光时间控制器、扩束镜、准直镜、利用透明光学材料制成的光学线性元件、载体架构成,且依次安装在底座上。本发明的光路调整方便,光路调好后可长期使用,大大简化了制造圆光栅的工序,时间大为缩短,省时省工,提高了工效和可靠性,大大降低了圆光栅的制造成本,且栅线整齐、直线性好,精确度高。

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