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一种应用于太阳能电池的AZO靶材及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110757584.7
  • IPC分类号:C23C14/08;C23C14/34;H01L31/18
  • 申请日期:
    2021-07-05
  • 申请人:
    广州市尤特新材料有限公司
著录项信息
专利名称一种应用于太阳能电池的AZO靶材及其制备方法
申请号CN202110757584.7申请日期2021-07-05
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-11-05公开/公告号CN113604778A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/08IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人广州市尤特新材料有限公司申请人地址
广东省广州市花都区花山镇华侨科技工业园华辉路4号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广州市尤特新材料有限公司当前权利人广州市尤特新材料有限公司
发明人周志宏;雷雨;刘芳
代理机构广州一锐专利代理有限公司代理人朱蓉艳
摘要
本发明公开了一种应用于太阳能电池的AZO靶材及其制备方法,包括以下步骤:将锌盐和铝盐加入到第一溶剂中,分散均匀,配制成第一溶液;将草酸加入到第二溶剂中,分散均匀,配制成第二溶液;将第二溶液加入到第一溶液中,在水浴下混合均匀,得到浆料,在常温下挥发去除溶剂,静置,干燥,烧结,得到前驱体粉末;将前驱体粉末加入到去离子水中,分散均匀,置于超声波处理器中,超声处理,干燥,得到氧化锌铝粉体;将氧化锌铝粉末压制成型,得到坯块;将坯块烧结,得到靶材。由本发明所述的AZO靶材制备得到的薄膜应用于太阳能电池,具有良好的开路电压与短路电流,能够有效提高太阳能电池的光电转化效率。

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