蚀刻时间侦测方法及蚀刻时间侦测系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201811063659.6
IPC分类号：G01N21/59
申请日期：
2018-09-12
申请人：
亚智科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	蚀刻时间侦测方法及蚀刻时间侦测系统
申请号	CN201811063659.6	申请日期	2018-09-12
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-12-03	公开/公告号	CN110530825A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/59 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/17 入射光根据所测试的材料性质而改变的系统（其中所测试的材料因受到光学激发而引起入射光波长改变的入G01N 21/63）〔3〕 G01N21/59 透射率（G01N 21/25优先）〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;5;9查看分类表>
申请人	亚智科技股份有限公司	申请人地址	中国台湾桃园县中坜市自强三路三号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	亚智科技股份有限公司	当前权利人	亚智科技股份有限公司
发明人	萧郁伦
代理机构	北京汇泽知识产权代理有限公司	代理人	暂无

摘要

一种蚀刻时间侦测方法，包括以下步骤依据配方数据执行蚀刻制程；于蚀刻时间中的判断时间内接收由数组光感测元件所传输的透光率数值；依据配方数据，分别撷取由各组光感测元件所传输的数个透光率数值，以产生相应的数个计算数值；于判断时间内处理计算数值，以产生相应各组光感测元件的数值分布数据；以及比对数值分布数据，以决定一过蚀刻时间。此外，一种蚀刻时间侦测系统亦被提出。

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