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直流电源装置以及直流电源装置的控制方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201280075647.X
  • IPC分类号:H02J1/00
  • 申请日期:
    2012-09-05
  • 申请人:
    株式会社京三制作所
著录项信息
专利名称直流电源装置以及直流电源装置的控制方法
申请号CN201280075647.X申请日期2012-09-05
法律状态暂无申报国家暂无
公开/公告日2015-05-06公开/公告号CN104604070A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H02J1/00IPC分类号H;0;2;J;1;/;0;0查看分类表>
申请人株式会社京三制作所申请人地址
日本神奈川县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社京三制作所当前权利人株式会社京三制作所
发明人让原逸男;安达俊幸;小玉真一
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司代理人曾贤伟;文志
摘要
通过使重新启动时的脉冲控制信号的相位与停止时的脉冲控制信号的相同一致,抑制重新启动时的逆变器的各相的输出电压变动以及向负载的供给电压的变动。在将直流电力供给给等离子体发生装置时,当在等离子体发生装置中发生了电弧放电时,停止直流电力的供给来降低电极或基板的损伤,并且,在电弧放电消弧时,重新开始直流电力的供给。在直流输出的停止/重新开始中,在停止时保持流过斩波部的电流来作为循环电流,在重新启动逆变器部时,通过将该循环电流供给给负载,来降低直流输出重新开始时的向负载的直流电力的供给延迟。

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