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集成电路料盘的移载装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN03251289.9
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2003-05-27
  • 申请人:
    东捷半导体科技股份有限公司
著录项信息
专利名称集成电路料盘的移载装置
申请号CN03251289.9申请日期2003-05-27
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人东捷半导体科技股份有限公司申请人地址
台湾省台南县新市乡南科五路六号三楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东捷科技股份有限公司当前权利人东捷科技股份有限公司
发明人李炳寰;苏荣瑞;陈正赐
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人汤保平
摘要
本实用新型是有关于一种集成电路料盘的移载装置,包含有:一基架,内部设有横向的一第一、第二滑轨组;一料盘夹持座,具有一身部枢设于该第一滑轨组,受一第一驱动装置所驱动而于该基架内左右滑移,于该身部上枢设一夹持框,该夹持框受一第二驱动装置所驱动而沿该身部上下滑移;一料盘承台,具有一身部枢设于该第二滑轨组,受一第三驱动装置所驱动而于该基架内左右滑移,该料盘承台上具有二承板,该二承板由二第四驱动装置所分别驱动而上下位移。

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