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一种高绝缘性纳米防护涂层的制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201710729368.5
  • IPC分类号:C23C16/513;C23C16/56
  • 申请日期:
    2017-08-23
  • 申请人:
    江苏菲沃泰纳米科技有限公司
著录项信息
专利名称一种高绝缘性纳米防护涂层的制备方法
申请号CN201710729368.5申请日期2017-08-23
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2018-02-16公开/公告号CN107699868A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/513IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;5;1;3;;;C;2;3;C;1;6;/;5;6查看分类表>
申请人江苏菲沃泰纳米科技有限公司申请人地址
江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司当前权利人江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
发明人宗坚
代理机构大连理工大学专利中心代理人梅洪玉
摘要
一种高绝缘性纳米防护涂层的制备方法,属于等离子体技术领域,该方法中,将反应腔室抽真空度,并通入惰性气体,使基材产生运动,通入单体蒸汽到反应腔室内,开启等离子体放电,进行化学气相沉积,在基材表面化学气相沉积制备高绝缘性纳米涂层,单体蒸汽成分为:至少一种低偶极矩有机物单体和至少一种多官能度不饱和烃及烃类衍生物的混合物,本发明筛选出具有低偶极矩和高化学惰性的有机物单体,通过多官能度单体调控涂层的自由体积和致密性,由于等离子化学气相沉积方法不仅可适用于多种单体,且对形成的涂层的成分与结构的可控性强,可使沉积的涂层在相同厚度下比派瑞林等现有涂层具有更优异的防护性能和绝缘性能。

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