一种应用于半导体废气处理设备的循环水箱

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920697383.0
IPC分类号：B01D53/78;B01D53/75
申请日期：
2019-05-16
申请人：
安徽京仪自动化装备技术有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种应用于半导体废气处理设备的循环水箱
申请号	CN201920697383.0	申请日期	2019-05-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01D53/78 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01D 分离（用湿法从固体中分离固体入B03B、B03D，用风力跳汰机或摇床入B03B，用其他干法入B07；固体物料从固体物料或流体中的磁或静电分离，利用高压电场的分离入B03C；离心机、涡旋装置入B04B；涡旋装置入B04C；用于从含液物料中挤出液体的压力机本身入B30B 9/02）〔5〕 B01D53/00 气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化（通过冷凝作用回收挥发性溶剂入B01D 5/00；升华入B01D 7/00；冷凝阱，冷挡板入B01D 8/00；难凝聚的气体和空气用液化方法分离入F25J 3/00）〔3，5〕 B01D53/34 废气的化学或生物净化〔3，6〕 B01D53/74 净化废气的一般方法；为这类方法特别设计的设备或装置（B01D 53/92优先）〔6〕 B01D53/77 液相方法〔6〕 B01D53/78 利用气—液接触〔6〕	IPC分类号	B;0;1;D;5;3;/;7;8;;;B;0;1;D;5;3;/;7;5查看分类表>
申请人	安徽京仪自动化装备技术有限公司	申请人地址	安徽省芜湖市江北产业集中区管委会B楼403-J室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽京仪自动化装备技术有限公司	当前权利人	安徽京仪自动化装备技术有限公司
发明人	章文军;杨春水;宁腾飞;陈彦岗;杨春涛;王继飞;张坤;闫萧;蔡传涛;席涛涛;王磊
代理机构	芜湖思诚知识产权代理有限公司	代理人	郑直

摘要

本实用新型公开了一种应用于半导体废气处理设备的循环水箱，涉及半导体行业废气清洁技术领域，包括水箱本体，所述水箱本体包括箱体和盖板，所述盖板上设有水洗塔连接口、反应腔连接口以及水泵架，所述水泵架上设有立式水泵，所述立式水泵连接有与废气处理设备中水洗塔连接的循环管路，本实用新型的箱体通过设置前维护窗口和左维护窗口，使得方便了观察箱体内部情况，方便了维护，箱体材质选择耐酸碱材料，使用寿命长，通过设置过滤板，使得箱体内大颗粒脏污被过滤板过滤，有利于立式水泵维护运行且不易损坏。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供