一种硬质耐磨损抗氧化高熵合金涂层及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202210825310.1
IPC分类号：C23C14/35;C22C30/00
申请日期：
2022-07-14
申请人：
南京理工大学

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专利名称	一种硬质耐磨损抗氧化高熵合金涂层及其制备方法
申请号	CN202210825310.1	申请日期	2022-07-14
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-10-25	公开/公告号	CN115233173A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/35 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕 C23C14/35 利用磁场的，例如磁控溅射〔5〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;2;C;3;0;/;0;0查看分类表>
申请人	南京理工大学	申请人地址	江苏省南京市孝陵卫200号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京理工大学	当前权利人	南京理工大学
发明人	冯涛;邹吕禹;王军杰;周子涵;莫沛文;张滋忱
代理机构	南京理工大学专利中心	代理人	张玲

摘要

本发明属于金属或合金表面处理领域，具体涉及一种硬质耐磨损抗氧化高熵合金涂层及其制备方法。所述高熵合金涂层的材质为(AlCrTiVZr)100‑XNX，高熵合金涂层具有柱状晶结构，涂附在待防护产品的表面。本发明采用高功率射频磁控技术，通过反应磁控溅射的方式，以AlCrTiVZr靶材为溅射源，以高纯氮气作为反应气体，通过控制高纯氮气的体积流量，在钢片表面上制备硬质耐磨损、抗氧化的(AlCrTiVZr)100‑XNX涂层。本发明制备的硬质耐磨损、抗氧化高熵合金涂层具有高硬度、高界面结合强度、优异的耐磨损及抗高温氧化等性能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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