用于从等离子束中移除大粒子的过滤器

发明专利有效专利

申请号：
CN201180045433.3
IPC分类号：H01J37/32;C23C4/134
申请日期：
2011-09-30
申请人：
纳峰科技私人有限公司

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著录项信息

专利名称	用于从等离子束中移除大粒子的过滤器
申请号	CN201180045433.3	申请日期	2011-09-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-05-22	公开/公告号	CN103119684A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;C;2;3;C;4;/;1;3;4查看分类表>
申请人	纳峰科技私人有限公司	申请人地址	上海市青浦区青浦工业园区华纺路99弄99号2幢1层A区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	纳峰真空镀膜（上海）有限公司	当前权利人	纳峰真空镀膜（上海）有限公司
发明人	史旭;魏浩
代理机构	上海兆丰知识产权代理事务所（有限合伙）	代理人	章蔚强

摘要

用于从等离子束中过滤大粒子的过滤器，该过滤器包括用于运送等离子束的弯曲管道，弯曲管道包括中间部分，中间部分的一端连接至具有设置于入口平面上的纵向轴线的入口部分并且另一相对端连接至具有设置于出口平面上的纵向轴线的出口部分，入口部分允许包含大粒子的等离子束以入射方向朝向中间部分行进，出口部分允许等离子束从中间部分以出射方向行进，中间部分被配置为使入射方向以超过90°的角度偏离至出射方向，以便当等离子束穿过中间部分时从等离子束中移除大粒子，其中入口平面与出口平面被设置为彼此成偏移角。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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