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一种压电微泵支承结构及气体控制装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202022082524.3
  • IPC分类号:F04B43/04;F04B53/00
  • 申请日期:
    2020-09-21
  • 申请人:
    常州威图流体科技有限公司
著录项信息
专利名称一种压电微泵支承结构及气体控制装置
申请号CN202022082524.3申请日期2020-09-21
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F04B43/04IPC分类号F;0;4;B;4;3;/;0;4;;;F;0;4;B;5;3;/;0;0查看分类表>
申请人常州威图流体科技有限公司申请人地址
江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城惠研楼北楼2521室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人常州威图流体科技有限公司当前权利人常州威图流体科技有限公司
发明人不公告发明人
代理机构常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)代理人常莹莹
摘要
本实用新型属于流体输送设备技术领域,具体涉及一种压电微泵支承结构及气体控制装置。一种压电微泵支承结构,包括压电微泵,包括共振板、压电振子和电极组件,共振板和压电振子依次层叠设置,压电振子的远离共振板的一侧连接有电极组件;底板,与压电微泵的远离共振板的一端连接且两者之间间隙形成进气腔,底板对压电微泵进行支撑和约束。一种气体控制装置,包括压电微泵支承结构;外壳罩设在压电微泵外部,并与电极组件密封连接以形成出气腔,外壳上形成有与出气腔连通的出气通孔。解决了现有技术中的压电微泵需通过周向延伸的连接部连接至外围的支承部上,支承部被层压固定,大大加大了压电泵的体积的技术问题。

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